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國產(chǎn)立式快速退火爐 8寸真空，RTP800V，使用多溫區(qū)控溫，可通過APP界面調(diào)節(jié)溫度均勻性。優(yōu)秀的光源冷卻系統(tǒng)確保光源壽命達到國際水平?？茖W的波長分布保證半導體材料可有效吸收。

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國產(chǎn)小型桌面式快速退火爐 4寸非真空，RTP500Z，使用多溫區(qū)控溫，可通過APP界面調(diào)節(jié)溫度均勻性。優(yōu)秀的光源冷卻系統(tǒng)確保光源壽命達到國際水平?？茖W的波長分布保證半導體材料可有效吸收。

TC-Wafer校準儀是一款專注晶圓溫場均勻性測量的儀器，適配市場上大多數(shù)主流廠家生產(chǎn)的RTP設備。