桌面微型紫外光刻機

1. 產品介紹
   桌面微型紫外光刻機，專為微米級圖案制作而設計，旨在保障圖形轉移精度。設備采用紫外LED冷光源，結合雙非球面石英透鏡，可生成半角<2°的平行光，相較傳統(tǒng)接觸式曝光機，其緊湊的體積將移形換影置于桌面之上，為操作提供了便利與精準。
   該光刻機廣泛適用于微流控芯片、MEMS器件、光電子器件以及聲表面波器件等制備領域。其性能尤其適合高校、科研院所以及企業(yè)展開微細加工工藝研究。緊隨現(xiàn)代技術的步伐，桌面微型光刻機的問世為微納加工注入了新的活力，助力客戶在項目目標的實現(xiàn)過程中邁向更高精度、更具創(chuàng)新性的階段。

2. 技術參數

   曝光光源:紫外LED；

        光源波長:365nm;

        曝光面積:4英寸、6英寸可選;

        曝光方式:單面接觸式定時曝光；

        曝光分辨率:2um;

        曝光強度:30~120mW/cm2可調；

        曝光不均勻性:<5%;

        光源平行性:≤2°

        光源壽命:>20000h;

        電源輸入:AC220V+10V，50HZ